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寶帝邀您共赴Semicon盛會(huì),解鎖半導(dǎo)體應(yīng)用流體控制新方案

更新時(shí)間:2025-03-25      點(diǎn)擊次數(shù):336

寶帝邀您共赴Semicon盛會(huì),解鎖半導(dǎo)體應(yīng)用流體控制新方案

SEMICON China 2025也已進(jìn)入開幕倒計(jì)時(shí)狀態(tài)!作為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的年度盛事,今年的SEMICON China又將帶來(lái)哪些驚喜呢?今天,寶帝與您一起探索SEMICON China 2025的參觀攻略,為你揭開這場(chǎng)科技盛宴的神秘面紗!


寶帝邀您共赴Semicon盛會(huì),解鎖半導(dǎo)體應(yīng)用流體控制新方案


展會(huì)邀請(qǐng)
INVITATION

展會(huì)將于2025年3月26至28日,在上海新國(guó)際博覽中心舉辦,展會(huì)將涵蓋半導(dǎo)體制造、封裝測(cè)試、設(shè)備材料等多個(gè)領(lǐng)域,寶帝誠(chéng)邀您前來(lái)交流,一同探索半導(dǎo)體應(yīng)用中的流體控制技術(shù)!

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以創(chuàng)新方案,面對(duì)挑戰(zhàn)





用于刻蝕鍍膜冷卻工藝解決方案

Bürkert 參與的刻蝕鍍膜冷卻環(huán)節(jié):反應(yīng)腔室、E-CHUCK、分子泵/真空泵、射頻電源等。

ESC Cooling

ESC 是刻蝕機(jī)中的核心部件,其冷卻系統(tǒng)至關(guān)重要,Bürkert 針對(duì)該工藝提供解決方案:


雙通道閥門 - 開關(guān)

通過(guò) 2 組Burkert氣動(dòng)閥的高頻開關(guān)控制 Chiller 的高低溫氟化液匯流循環(huán),以實(shí)現(xiàn)機(jī)臺(tái)的調(diào)溫目的。


雙通道閥門 - 控制

通過(guò)2組Burkert電動(dòng)閥的控制 Chiller 的高低溫氟化液匯流循環(huán),以實(shí)現(xiàn)機(jī)臺(tái)的無(wú)極調(diào)溫目的。

PCW Cooling


Bürkert 解決方案可用于控制 2-3 路 DI water,各支路數(shù)據(jù)通過(guò)工業(yè)以太網(wǎng)網(wǎng)關(guān)采集和交換,實(shí)現(xiàn)控制、監(jiān)控和診斷,以實(shí)現(xiàn)冷卻水的閉環(huán)控制

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測(cè)試分選機(jī)高效冷卻解決方案

寶帝邀您共赴Semicon盛會(huì),解鎖半導(dǎo)體應(yīng)用流體控制新方案

測(cè)試分選機(jī)在高負(fù)荷運(yùn)行時(shí),發(fā)熱問(wèn)題嚴(yán)重影響設(shè)備穩(wěn)定性和使用壽命。Bürkert 冷卻系統(tǒng)解決方案通過(guò)工業(yè)以太網(wǎng)通訊,實(shí)現(xiàn)采集和交換、控制、監(jiān)控和診斷,提升設(shè)備整體性能和效率,確保測(cè)試分選機(jī)穩(wěn)定運(yùn)行。


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寶帝與您不見不散





寶帝邀您共赴Semicon盛會(huì),解鎖半導(dǎo)體應(yīng)用流體控制新方案

如果您從事半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè),關(guān)注刻蝕鍍膜冷卻工藝和測(cè)試分選機(jī)的高效冷卻等半導(dǎo)體相關(guān)應(yīng)用,一定不要錯(cuò)過(guò)寶帝在 Semicon 展會(huì)的精彩呈現(xiàn)!

3月26 - 28日,上海新國(guó)際博覽中心,寶帝與您不見不散E6-6670,攜手探索半導(dǎo)體領(lǐng)域工藝流程。




END

屆時(shí)寶帝攜手Bürkert系統(tǒng)解決方案及更多Bürkert展品亮相Semi展會(huì)敬請(qǐng)期待!




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